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仪器名称: 单位名称:  

序号 仪器名称 仪器型号 所在单位 操作
1 真空部件制作设备 YBO-1 信息产业部电子第五十五研究所
2 真空焊接MCP设备 YB派-1 信息产业部电子第五十五研究所
3 寿命老炼设备 YNBT-K 信息产业部电子第五十五研究所
4 程控三管扩散炉 信息产业部电子第五十五研究所
5 外延炉 信息产业部电子第五十五研究所
6 硅外延炉 AMU-1284 信息产业部电子第五十五研究所
7 链式热处理炉 信息产业部电子第五十五研究所
8 中能离子注入机 NV -3204 信息产业部电子第五十五研究所
9 中能离子注入机 LC-2 信息产业部电子第五十五研究所
10 图形发生器 3600F 信息产业部电子第五十五研究所
11 反应离子刻蚀机 MPT/SCM-III 信息产业部电子第五十五研究所
12 反应离子刻蚀机 MPT/IC-1 信息产业部电子第五十五研究所
13 干法刻蚀设备 NE860RL 信息产业部电子第五十五研究所
14 光刻机 MJB-3 UV300 信息产业部电子第五十五研究所
15 电子束等膜机 UES2550 信息产业部电子第五十五研究所
16 电子束蒸发台 FC-1800 信息产业部电子第五十五研究所
17 微通道板部件及参数检测设备 YKN-1 信息产业部电子第五十五研究所
18 摄像器件测试台 PT-101 信息产业部电子第五十五研究所
19 照相制版装置 GCA-3696 信息产业部电子第五十五研究所
20 颗粒仪 AVL472 无锡油泵油嘴研究所

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