仪器名称: 单位名称:

仪器型号:	技术指标:	仪器用途:
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序号	仪器名称	仪器型号	所在单位	操作
1	光电直读光谱仪	德国布鲁克Q4 TASMAN	jsjcznyjs
2	蔡司钨灯丝扫描电镜	德国ZEISS EVO18	jsjcznyjs
3	FIB/SEM双束系统	FEI DualBeam 235	naruikeji
4	聚焦离子束扫描电镜FIB	fib200	naruikeji
5	紫外光刻机	MJB4	南京大学国资处
6	显微镜	Axio Imager M 1m	南京大学国资处
7	无掩膜紫外光刻机	SF100	南京大学国资处
8	探针测试台	CRX-4K	南京大学国资处
9	探针测试台	CRX-4K	南京大学国资处
10	离子束刻蚀系统	IBE-150	南京大学国资处
11	精密砂轮划片机	DS616	南京大学国资处
12	反应溅射设备	*	南京大学国资处
13	电子束蒸发与磁控溅射镀膜设备	PVD75	南京大学国资处
14	电子束光刻机	F50	南京大学国资处
15	电感耦合－反应离子体刻蚀系统	CE-300I	南京大学国资处
16	等离子增强化学气相沉积系统	Plasmalab System 80 plus	南京大学国资处
17	等离子去胶机	IoN Wave 10	南京大学国资处
18	膜厚仪	VM-1220	南京大学国资处
19	万能材料试验机	5969	Sunnywell
20	高精度特种玻璃挤管机	定制	江苏师范大学

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