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仪器名称
 准分子气体激光器    
仪器型号  COMPexPro201  仪器类别 激光器
仪器厂商  相干公司  仪器原值 78万元
购买时间 2012-07 启用时间 2012-07
机组负责人  马忠元  服务领域 材料
联系电话 请登录后查看 E-mail 请登录后查看
所在单位 南京大学国资处 更新日期 2015-07-26
收费标准 面议
技术指标  波长:248nm;脉冲能量:700mJ;平均能量:5W;最大重复率:10Hz;脉冲延迟:25ns;脉冲稳定性:1%;光束维度(Vxh):24x10mm;光束分散度:3x1 mrad。 
仪器用途  利用激光与气体,液体,固体的互作用,实现激光气相分解淀积,激光固体消蚀淀积,激光晶化,激光非晶化,激光改性等性能。(1)利用激光诱导晶化原理制备高密度均匀的半导体Si量子点阵列,应用于光电子、纳电子器件;(2)硅基半导体亚微米纳米图形的制备;(3)半导体材料离子注入的激光退火。 

主办:江苏省科技条件管理服务中心(江苏省科学仪器设备协会)
地址:江苏省南京市龙蟠路175号  联系电话:025-85485860  传真:025-85485872  邮箱:jsyqpt@163.com
苏ICP备08023279号